Graphitreinigungs- und Beschichtungsanlagen

sind Öfen vom Typ COV und verfügen somit über Heizer und thermische Isolationen aus Graphit oder faserverstärktem Graphit. Sie sind elektrisch beheizte Batch-Anlagen für Hochtemperaturprozesse.

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Graphitreinigungsanlagen

Eine erste Reinigung der Charge erfolgt bei hoher Temperatur im Vakuum. Hier werden flüchtige Komponenten thermisch ausgetrieben. Die weitere Behandlung erfolgt mittels gasförmiger, halogenhaltiger Gase, so dass die Elemente Chlor und Fluor im Prozess als wirksame Reaktionspartner zur Verfügung stehen. Die maximale Prozesstemperatur beträgt typischerweise 2200°C, in Einzelfällen auch bis zu 2400°C.

Diese extremen Prozessbedingungen erfordern höchste Sicherheitsbetrachtungen sowie genaue Kenntnisse der Eigenschaften der eingesetzten Materialien.

Die Auswahl der verbauten Materialien und Bauteile erfolgt unter Berücksichtigung der reaktiven Atmosphäre so dass eine größtmögliche Standzeit der Anlage gewährleistet ist.

Die verwendeten Prozessgase und deren Reaktionsprodukte erfordern eine Nachbehandlung der Abgase, so dass die Grenzwerte der TA Luft bzw. vergleichbarer Normen eingehalten werden. Diese Nachbehandlung erfolgt in der Regel durch einen Gaswäscher. Speziell an die Anlagen angepasste Chargen-Handlingsysteme runden das gesamte Leistungspaket ab.
Graphitbeschichtungsanlagen

Zur Beschichtung von Graphitbauteilen werden Precursor in den Reaktionsraum eingelassen, die z.T. flüssig dosiert werden müssen. Diese Precursor zerfallen im Reaktorraum in reaktive Komponenten, welche sich unter den Bedingungen der Ofenatmosphäre als funktionale Schichten auf den Bauteilen ablagern. Die Prozesstemperaturen betragen in der Regel bis 1800°C.

Erfolgreiche Beschichtungsprozesse erfordern genaue Berücksichtigung des Temperaturprofils im Nutzraum sowie der Gasströmungen und der ortsabhängigen Temperaturen im Prozessgas.

Die verwendeten Prozessgase und deren Reaktionsprodukte erfordern eine Nachbehandlung der Abgase, so dass die Grenzwerte der TA Luft bzw. vergleichbarer Normen eingehalten werden. Diese Nachbehandlung erfolgt in der Regel durch einen Gaswäscher.