MOV Lötanlagen erreichen ein Endvakuum bis zu 10-8 mbar und genügen damit höchsten Anforderungen an die Lötatmosphärenqualität, wie sie z.B. bei der Herstellung von Vakuumschaltkammern erforderlich ist. Für MOV-Anlagen werden verschiedene Schnellkühkonzepte angeboten, die den jeweiligen Anforderungen an die Lötprozessqualität angepasst sind. So wird für MOV-Anlagen in UHV-Ausführung eine spezielle, außenliegende Schnellkühlung vorgesehen, die sich in der Lötprozessphase vollständig über Hochvakuumventile von der Prozesskammer abtrennen lässt. Solche Schnellkühlkonzepte finden insbesondere beim Löten von Vakuumschaltkammern Anwendung, da hier besonders hohe Anforderungen an das Endvakuum vorliegen.