Eine erste Reinigung der Charge erfolgt bei hoher Temperatur im Vakuum. Hier werden flüchtige Komponenten thermisch ausgetrieben. Die weitere Behandlung erfolgt mittels gasförmiger, halogenhaltiger Gase, so dass die Elemente Chlor und Fluor im Prozess als wirksame Reaktionspartner zur Verfügung stehen. Die maximale Prozesstemperatur beträgt typischerweise 2200°C, in Einzelfällen auch bis zu 2400°C.
Diese extremen Prozessbedingungen erfordern höchste Sicherheitsbetrachtungen sowie genaue Kenntnisse der Eigenschaften der eingesetzten Materialien.