Обогащение графита

Материалы на основе графита находят разнообразное применение в изготовлении печей, в химической промышленности и ядерных технологиях. Для использования в областях, требующих высокой степени чистоты, например, в производстве полупроводников, сами компоненты графита должны обладать сопоставимой или более высокой чистотой по сравнению с продуктами, подлежащими обработке. Поэтому технологические примеси необходимо свести к минимуму.

Очистку графита выполняют при температурах до 2400 °C в вакууме или при парциальном давлении. Поскольку многие микроэлементы, особенно металлические, образуют карбиды, обладающие очень высокой стойкостью к температуре, очистку выполняют с помощью хлора и фтора. Эти вещества можно вводить в процесс в форме сравнительно безвредных химических прекурсоров и раскрывать их реакционный и, следовательно, очищающий потенциал только в камере печи.

Примеры применения очистки графита:

• Графитовые нагревательные элементы для вакуумных печей и кристаллизаторов
• Изоляция из графитового волокна в вакуумных печах и установках для выращивания кристаллов
• загрузочные рамки для установок эпитаксиального наращивания и нанесения покрытий

В различных областях применения на графитовые материалы наносят функциональные покрытия (в частности, пироуглерод и карбид кремния), предназначенные, например, для увеличения срока службы компонентов или их химической стойкости. Такие слои обычно наносят методом химического осаждения из газовой фазы. Процессы химического осаждения из газовой фазы протекают при высоких температурах в режиме парциального давления или давлении немногим ниже атмосферного. Они предъявляют особые требования к равномерности температуры и точности управления, а также подаче технологического газа.

Компания PVA Industrial Vacuum Systems GmbH располагает методами моделирования распределения температуры и потоков газа, что позволяет спроектировать вместе с заказчиком установку, соответствующую его задачам.

В тесном взаимодействии с технологами наших заказчиков мы разрабатываем и производим реакторы газофазного химического осаждения; мы вносим свои всесторонние технологии «на равных началах».

Типичные примеры покрытий графита с осаждением из газовой фазы

• загрузочные рамки для процессов термообработки в полупроводниковой промышленности
• Компоненты тормозов в мотоспорте
• Стойкая теплоизоляция в изготовлении печей