Системы очистки и нанесения покрытия на графиты

представляют собой печи типа COV и, следовательно, имеют нагреватели и теплоизоляцию из графита или армированного волокном графита. Они представляют собой установки для высокотемпературных процессов с электрическим нагревом.

Наши установки

  • Установки очистки графита

    Первая очистка партии выполняется при высокой температуре в вакууме. При этом происходит термическое удаление летучих компонентов. Дальнейшая обработка осуществляется галогенсодержащими газами, в результате чего в процессе в качестве эффективных реактивов доступны хлор и фтор. Максимальная температура процесса обычно составляет 2200 °C, в отдельных случаях – 2400 °C.

    Такие экстремальные условия процесса требуют максимальных мер безопасности и точного знания свойств используемых материалов.

    Применяемые материалы и компоненты подбирают с учетом реакционной среды таким образом, чтобы гарантировать максимальный срок службы установки.

    Используемые технологические газы и продукты их реакций требуют последующей обработки выхлопных газов для соблюдения предельно допустимых значений согласно TA Luft или сопоставимым стандартам. Такая дополнительная обработка обычно осуществляется газоочистителем. Системы транспортировки, специально адаптированные к установкам, дополняют комплексное предложение.

  • Установки нанесения покрытия на графит

    Для нанесения покрытия на графитовые компоненты в реактор вводят прекурсоры, которые частично дозируют в жидкой форме. Эти прекурсоры разлагаются в реакторе на реактивные компоненты, осаждаемые в условиях атмосферы печи на детали в качестве функциональных слоев. Температура процесса составляет, как правило, до 1800 °C.

    Для успешного нанесения покрытия необходима точная картина профиля температур в рабочем пространстве, а также потоков газа и локальных температур технологического газа.

    Используемые технологические газы и продукты их реакций требуют последующей обработки выхлопных газов для соблюдения предельно допустимых значений согласно TA Luft или сопоставимым стандартам. Такая дополнительная обработка обычно осуществляется газоочистителем.

Способ быстрой связи

slideoutcontact
Поля, обозначенные «*», обязательны для заполнения.

PVA Industrial Vacuum Systems GmbH
Im Westpark 10-12
D-35435 Wettenberg

Телефон: +49 (0) 641/68690-490
Факс: +49 (0) 641/68690-498

Эл. почта: ivsinfo@pvatepla.com
Сайт: www.pvatepla-ivs.com